Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dittmar, Nils ; Küchler, Matthias ; Meinecke, Christoph ; Reuter, Danny ; Otto, Thomas
Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von SiO2-Monolagen mittels Fluorkohlenstoff
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-060648-9 | |
| Quelle: | 14. Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 2018 Oct 23-24; Proceedings, pp 125-130 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Atomlagenätzen , SiO2-Monolagen , Ätzen mittels Fluorkohlenstoff , flussgesteuertes Quasi-ALE |
