Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Milekhin, A. G. ; Himcinschi, C. ; Friedrich, M. ; Hiller, Karla ; Wiemer, Maik ; Geßner, Thomas ; Schulze, Steffen ; Zahn, Dietrich R. T.
Infrared Spectroscopy of Bonded Silicon Wafers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 3: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1063-7826 | |
| DOI: | doi:10.1134/S1063782606110108 | |
| Quelle: | In: Semiconductors - New York- c/c of Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov. - 40. 2006, 11, S. 1304 - 1313 |
