Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ebermann, Martin ; Neumann, Norbert ; Hiller, Karla ; Seifert, Mario ; Meinig, Marco ; Kurth, Steffen
Tunable MEMS Fabry-Pérot filters for infrared microspectrometers: a review
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 9781628419955 ; 0277-786X | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1117/12.2209288 | |
| Quelle: | MOEMS and Miniaturized Systems XV, San Francisco, CA (USA), 2016 Feb 15-17; Proceedings of SPIE, 9760 (2016), p 97600H | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Apertures , Fabrication , Infrared spectroscopy , Microelectromechanical systems , Spectral resolution , Spectrometers , Wavelength tuning |
