Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haas, Sven* ; Voigt, Sven ; Arnold, Markus ; Schwenzer, Falk ; Braunschweig, Markus ; Küchler, Matthias ; Kurth, Steffen ; Reuter, Danny ; Gessner, Thomas
Novel through silicon wiring technology using dry etched sloping vertical terminals
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-95735-040-4 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration Conference 2016 (SSI), Munich (Germany), 2016 Mar 09-10; Proceedings, pp 386-391 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | . |
