Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hermann, Sascha ; Bonitz, Jens ; Böttger, Simon ; Hartmann, Steffen ; Shaporin, Alexey ; Mehner, Jan ; Wunderle, Bernhard ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Carbon Nanotube based sensors in MEMS/NEMS
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 3: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 4: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-86359-296-7 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration Conference 2015 (SSI), Copenhagen (Denmark), 2015 Mar 11-12; Proceedings, pp 221 - 222 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | SWCNTs , Single-walled carbon nanotubes |
