Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kurth, Steffen ; Hiller, Karla ; Meinig, Marco ; Besser, Jan ; Seifert, Mario ; Ebermann, Martin ; Neumann, Norbert ; Schlachter, Florian ; Gessner, Thomas
Subwavelength grating reflectors in MEMS tunable Fabry-Perot infrared filters with large aperture
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 9780819499080 | |
| URL/URN: | doi:10.1117/12.2040339 | |
| Quelle: | SPIE Photonics West, San Francisco (USA), 2014 Feb 4-6; Proceedings of SPIE 8995 High Contrast Metastructures III, 89950I (2014) | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Fabry–Perot interferometers , Microelectromechanical systems , Optical filtering ; Reflectors , Fabrication , Silicon , Simulations , Spectrometers , Transmittance , Wafer bonding |
