Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Zimmermann, Sven ; Ahner, Nicole ; Fischer, Tobias ; Oszinda, T. ; Uhlig, B. ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
A Low Damage Patterning Scheme for Ultra Low-k Dielectrics
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1363-5182 | |
| URL/URN: | http://www.future-fab.com/documents.asp?d_ID=4961 | |
| Quelle: | In: Future Fab International. - 42. 2012 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Ultra Low-k Dielectrics |
