Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fronk, Michael ; Müller, Steve ; Wächtler, Thomas ; Schulz, Stefan E. ; Mothes, Robert ; Lang, Heinrich ; Zahn, Dietrich R. T. ; Salvan, Georgeta*
Magneto-optical Kerr-effect Studies on Copper Oxide Thin Films Prduced by Atomic Layer deposition on SiO2
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 3: | Professur Anorganische Chemie | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0040-6090 (print) ; 1879-2731 (online) | |
| DOI: | doi:10.1016/j.tsf.2011.10.204 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2011.10.204 | |
| Quelle: | In: THIN SOLID FILMS . - 520 . 2012 , 14 , S. 4741 - 4744 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Copper oxide , Atomic layer deposition (ALD) , Magneto-optical Kerr-effect (MOKE) , spectroscopy , Spectroscopic ellipsometry (SE) |
