Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Gottfried, Knut ; Schubert, Ina ; Schulze, Knut ; Schulz, Stefan ; Gessner, Thomas
CMP issues arising from novel materials and concepts in the BEOL of advanced Microelectronic Devices
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3065-0 | |
| Quelle: | International Conference on Planarization/CMP Technology, October 25 - 27, 2007 Dresden, Germany, : Conference Proceedings. - Berlin und Offenbach : VDE, 2007, S. 297 - 302 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | CMP, low-k , airgaps , mechanical stability , chemical compatibility |
