Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kurth, Steffen ; Leidich, Stefan ; Bertz, Andreas ; Nowack, Markus ; Kaufmann, Christian ; Faust, Wolfgang ; Gessner, Thomas ; Frömel, Jörg
Reliability enhancement of Ohmic RF MEMS switches
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1117/12.875424 | |
| Quelle: | SPIE Photonics West, San Francisco (USA), 2011 Jan 22-27; Proceedings, Vol. 7928-11 (2011) |
