Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Heinz, Steffen ; Erler, Klaus ; Walter, Thomas ; Seidel, Ralf ; Horstmann, John Thomas ; Neubert, Marco ; Pohle, Alexander ; Gross, Christian ; Gabriel, Paul Dietmar
Combining CMOS and MEMS technologies in a monolithic system for observing filter pollutions
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 9781612849713 - ISSN 1553-572X | |
| Quelle: | 37th Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society, Melbourne, Australia, November 7-10, 2011 |
