Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kurth, Steffen ;
Mehner, Jan ;
Shaporin, Alexey ;
Michael, Steffen ;
Ebert, Matthias ;
Dötzel, Wolfram ;
Gessner, Thomas
Society for Experimental Mechanics
Determination of Dimensional Parameters in MEMS Components by Vibration Analyses
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 0-912053-96-8 | |
| Quelle: | Proceedings of the IMAC-XXV: A Conference & Exposition on Structural Dynamics. - Florida, USA : Society for Experimental Mechanics, Inc., 2007, S. 165 - 172 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | FEM Analysis | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | vibration analysis, MEMS characterization, Laser Doppler Vibrometry |
