Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Milekhin, A. ; Friedrich, M. ; Hiller, Karla ; Wiemer, M. ; Geßner, T. ; Zahn, Dietrich R. T.
Infrared Study of Si Surfaces and Buried Interfaces
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1071-1023 | |
| URL/URN: | doi:10.1116/1.590843 | |
| Quelle: | In: Journal of Vacuum Science and Technology. Part B. Microelectronics and Nanometer Structures. - 17. 1999, 4, S. 1733 - 1737 |
