Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Herrmann, Matthias ; Schwarzer, Norbert ; Richter, Frank ; Frühauf, S. ; Schulz, S.E.
Determination of Youngs modulus and yield stress of porous low-k materials by nanoindentation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Physik fester Körper | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0257-8972 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.surfcoat.2006.08.077 | |
| Quelle: | In: Surface and Coatings Technology. - 201. 2006, S. 4305 - 4310 | |
Bemerkung: |
Proceedings of the 33rd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films - ICMCTF 2006, The 33rd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films |
