Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Shaporin, Alexey ; Dötzel, Wolfram ; Forke, Roman ; Mehner, Jan
MEMS Characterization Technique Based on Special Designed Test-Structures
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Weitere Publikation (u.a. Rezension, Lexikonbeitrag), referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3061-2 | |
| Quelle: | Mikrosystemtechnik Kongress 2007. - Berlin, Germany : VDE VERLAG GMBH, 2007, S. 873 - 876 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Test-Structures, MEMS, reliability analysis, Laser Doppler Vibrometry, FEM Analysis |
