Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Forke, Roman ; Scheibner, Dirk ; Hiller, Karla ; Gessner, Thomas ; Dötzel, Wolfram ; Mehner, Jan
Spektrale Vibrationsmessung mit mikromechanischen kraftgekoppelten Silizium-Schwingern.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-00-022168-2 | |
| Quelle: | 8. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik- Mikromechanik & Mikroelektronik. - Chemnitz : Tagungsband, 2007, S. 67 - 72 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Vibrationssensor , MEMS , Kraftkopplung |
