Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Sayyed, Mudassir Ali ; Zieger, Stephan ; Seifert, Tom ; Haase, Micha ; Langer, Jan ; Kuhn, Harald
Hybrid Spectral Data Compression for Efficient and Interpretable Bosch Process Monitoring
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3315-4376-1 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3315-4377-8 ; Electronic ISSN: 2158-4923 P; rint on Demand(PoD) ISSN: 2158-4915 | |
| DOI: | doi:10.1109/ppps56198.2025.11248727 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/11248727 | |
| Quelle: | 2025 IEEE Pulsed Power & Plasma Science (PPPS), June 2025 Jun 15-20, Berlin (Germany). - IEEE, 2025 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | BOSCH etching , Virtual Metrology , Spectral Compression , Spatio-temporal Compression , Interpretable Embeddings |
