Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Behl, Christian* ; Behlert, Regine ; Seiler, Jan ; Helke, Christian ; Shaporin, Alexey ; Hiller, Karla
Characterization of Thin AlN/Ag/AlN-Reflector Stacks on Glass Substrates for MEMS Applications
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | 2673-8023 (Online) | |
DOI: | doi:10.3390/micro4010010 | |
URL/URN: | https://www.mdpi.com/2673-8023/4/1/10 | |
Quelle: | In: Micro 2024. - MDPI. - 4. 2024, 1, S. 142 - 156 | |
Freie Schlagwörter (Deutsch): | Metallische Dünnschicht , Fabry-Pérot-Interferometer , sichtbarer Spektralbereich , Nahinfrarot , Subwellenlängengitter , verteilter Bragg-Reflektor | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | metallic thin film , Fabry–Pérot interferometer , visible spectral range , near-infrared , subwavelength gratings , distributed Bragg reflector | |
Bemerkung: |
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OA-Lizenz | CC BY 4.0 |