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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Behl, Christian* ; Behlert, Regine ; Seiler, Jan ; Helke, Christian ; Shaporin, Alexey ; Hiller, Karla

Characterization of Thin AlN/Ag/AlN-Reflector Stacks on Glass Substrates for MEMS Applications


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 2673-8023 (Online)
DOI: doi:10.3390/micro4010010
URL/URN: https://www.mdpi.com/2673-8023/4/1/10
Quelle: In: Micro 2024. - MDPI. - 4. 2024, 1, S. 142 - 156
Freie Schlagwörter (Deutsch): Metallische Dünnschicht , Fabry-Pérot-Interferometer , sichtbarer Spektralbereich , Nahinfrarot , Subwellenlängengitter , verteilter Bragg-Reflektor
Freie Schlagwörter (Englisch): metallic thin film , Fabry–Pérot interferometer , visible spectral range , near-infrared , subwavelength gratings , distributed Bragg reflector

Bemerkung:

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OA-Lizenz CC BY 4.0

 

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