Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Huber, Max ; Hu, Xiao ; Zienert, Andreas ; Schuster, Jörg
Modeling the temporal evolution and stability of thin evaporating films for wafer surface processing
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| DOI: | 2751-0522 | |
| URL/URN: | https://www.dpg-verhandlungen.de/year/2023/conference/skm/part/cpp/session/44/contribution/8 | |
| Quelle: | DPG-Frühjahrstagung, 2023 März 26-31, Dresden (Germany) , 2023. - Abstract in: Verhandlungen der DPG |
