Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Franz, Mathias* ;
Jouzdani, Mahnaz Safian ;
Kaßner, Lysann ;
Daniel, Marcus ;
Stahr, Frank ;
Schulz, Stefan E.
Wilde, Gerhard ; Schimmel, Thomas
Low temperature atomic layer deposition of cobalt using dicobalt hexacarbonyl-1-heptyne as precursor
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2190-4286 | |
| DOI: | doi:10.3762/bjnano.14.78 | |
| URL/URN: | https://www.beilstein-journals.org/bjnano/articles/14/78 | |
| Quelle: | In: Beilstein Journal of Nanotechnology. - Beilstein-Institut. - 14. 2023, S. 951 - 963 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Atomlagenabscheidung (ALD) , Kobalt , Niedertemperatur-ALD , PEALD , plasmaunterstützte ALD , XPS | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | atomic layer deposition (ALD) , cobalt , low-temperature ALD , PEALD , plasma-enhanced ALD , XPS | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
|
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
