Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Saeidi, Nooshin* ; Selvam, Karman F.R.G.M. ; de Souza Tortato, Felipe ; Satwara, Maulik ; Wiemer, Maik
Characterization of Capacitive Micromachined Ultrasound Transducer (Cmut) for Targeted Applications in Harsh Environments
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-6654-1912-3 ; 978-1-6654-3024-1 ; 2160-1968 ; 1084-6999 | |
| DOI: | doi:10.1109/MEMS51782.2021.9375331 | |
| Quelle: | 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2021 Jan 25-29, Gainesville, FL, USA (online). - IEEE Xplore, 2021 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Capacitive Micromachined Ultrasound Transducer , Borehole Imaging , Geothermal Acoustic Imaging , Temperature measurement , Transducers , Ultrasonic imaging , Ultrasonic variables measurement , Piezoelectric transducers , Imaging , Probes | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
