Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Preuß, Andrea ; Tamuliene, Jelena ; Madajska, Katarzyna ; Szymanska, Iwona B. ; Korb, Marcus ; Rüffer, Tobias ; Jeschke, Janine ; Melzer, Marcel ; Bankwitz, Jörn ; Schulz, Stefan E. ; Lang, Heinrich*
Ruthenium(II) MOCVD Precursors for Phosphorus-Doped Ruthenium Layer Formation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Strukturleichtbau / Kunststoffverarbeitung | |
| Institut 2: | Professur Anorganische Chemie | |
| Institut 3: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| DOI: | doi:10.1002/ejic.201901310 | |
| Quelle: | In: European Journal of Inorganic Chemistry. - Wiley Online Library, WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim. - 2020, 17, S. 1612 - 1623 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Ruthenium , Solid‐state structures , Thermogravimetry , Density functional calculations , Chemical vapor deposition | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
