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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Preuß, Andrea ; Tamuliene, Jelena ; Madajska, Katarzyna ; Szymanska, Iwona B. ; Korb, Marcus ; Rüffer, Tobias ; Jeschke, Janine ; Melzer, Marcel ; Bankwitz, Jörn ; Schulz, Stefan E. ; Lang, Heinrich*

Ruthenium(II) MOCVD Precursors for Phosphorus-Doped Ruthenium Layer Formation


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Professur Strukturleichtbau / Kunststoffverarbeitung
Institut 2: Professur Anorganische Chemie
Institut 3: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
DOI: doi:10.1002/ejic.201901310
URL/URN: chemistry-europe.onlinelibrary.wiley.com/doi/abs/10.1002/ejic.201901310
Quelle: In: European Journal of Inorganic Chemistry. - Wiley Online Library, WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim. - 2020, 17, S. 1612 - 1623
Freie Schlagwörter (Englisch): Ruthenium , Solid‐state structures , Thermogravimetry , Density functional calculations , Chemical vapor deposition

 

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