Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fröhlich, Alexander ;
Hofmann, Christian ;
Kimme, Jonas ;
Kroll, Martin ;
Kräusel, Verena ;
Landgrebe, Dirk ;
Otto, Thomas ;
Wünsch, Dirk
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V ; Technische Universität Chemnitz
Verfahren zum Erwärmen einer Vielzahl von elektrisch leitfähigen Strukturen sowie Vorrichtungen zur Verwendung in dem Verfahren
Kurzfassung
Verfahren zum Erwärmen einer Vielzahl von elektrisch leitfähigen Strukturen, welche auf einem elektrisch nicht-leitfähigen ersten Substrat angeordnet sind, umfassend die Schritte:- Bereitstellen eines ersten Induktors mit einer Vielzahl von nebeneinander angeordneten Induktorelementen, wobei jedes Induktorelement mindestens einen ersten Verbindungsabschnitt und mindestens zwei Schenkel aufweist, wobei der erste Verbindungsabschnitt die beiden Schenkel des Induktorelements miteinander verbindet, und wobei die Induktorelemente miteinander durch zweite Verbindungsabschnitte in Serie verbunden sind,- Anordnen des ersten Induktors oberhalb oder unterhalb des ersten Substrats, derart, dasso jedes Induktorelement jeweils zumindest bereichsweise mit einem Rand mindestens einer elektrisch leitfähigen Struktur überlappt und/odero jedes Induktorelement zumindest bereichsweise parallel zu dem Rand der elektrisch leitfähigen Struktur verläuft,- Beaufschlagen des ersten Induktors mit einem Wechselstrom oder Anlegen einer Wechselspannung an den ersten Induktor und- Induzieren von Wirbelströmen in den elektrisch leitfähigen Strukturen.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Umformtechnik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Patent (Offenlegungsschrift, Patentschrift, Gebrauchsmusterschrift) | |
| Veröffentlichungsnummer: | AT521456A2 ; DE102019206248A1 | |
| Veröffentlichungsdatum | 14.11.2019 | |
| Internationale Patentklassifikation | H01L 21/30 |
