Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hertel, Silvia ; Wünsch, Dirk ; Wiemer, Maik ; Otto, Thomas
Galvanische Abscheidung von Aluminium für die Mikrosystem- und Leiterplattentechnik
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4491-6 | |
Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress , Unterschleißheim/Munich (Germany), 23.-25.10.2017; Proceedings, pp. 666-669 |