Berner, Tom ; Schulze, Robert ; Shaporin, Alexey ; Forke, Roman ; Otto, Thomas
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4491-6 | |
| Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress, Munich (Germany), 2017 Oct 23-25; Proceedings, pp 594-597 |
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