Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Clemente, I. ; Koehler, Nicole ; Miakonkikh, A. ; Zimmermann, Sven ; Schulz, Stefan E. ; Rudenko, K.
CF3Br plasma cryo etching of low-k porous dielectric
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN: 1742-6596 Print ISSN: 1742-6588 | |
| URL/URN: | doi:10.1088/1742-6596/741/1/012204 | |
| Quelle: | In: Journal of Physics: Conference Series zur 3rd International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016). - Institute of Physics Publishing Ltd. - 741. 2016, 1 | |
| OA-Lizenz | CC BY 3.0 |
