| Nr. | Titel | Autor | Jahr |
|---|---|---|---|
| 1 | A plasma assisted in situ restoration process for sidewall damaged ULK dielectrics | Koehler, Nicole* et al. | 2016 |
| 2 | CF3Br plasma cryo etching of low-k porous dielectric | Clemente, I. et al. | 2016 |
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