Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Selbmann, Franz ; Baum, Mario ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas
Parylene C Deposition and Characterization of its Barrier Properties for the Encapsulation of MEMS for Medical Applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-95735-040-4 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration Conference 2016 (SSI), Munich (Germany), 2016 Mar 9-10; Proceedings, pp 97-104 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | system packaging , system intergration |
