Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Franz, Mathias* ; Ecke, Ramona ; Kaufmann, Christian ; Krause, S. ; Kriz, Jakob ; Schulz, Stefan E.
Characterisation of the barrier formation process of self-forming barriers with CuMn, CuTi and CuZr alloys
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2016.02.058 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering (MAM (Materials for Advanced Metallization) 2015). - Elsevier. - 156. 2016, S. 65 - 69 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Self-forming barrier , Diffusion barrier , Copper alloy , CuMn , CuTi , CuZr , Manganese , Titanium , Zirconium |
