Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Koehler, Nicole* ; Fischer, Tobias ; Zimmermann, Sven ; Schulz, Stefan E.
A plasma assisted in situ restoration process for sidewall damaged ULK dielectrics
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2016.01.001 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering, online 11 January 2016. - Elsevier B.V. 2016 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Microelectronics , Dielectrics , Ultra low-k materials , Low-k damage , k-value restore |
