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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Georgi, Colin ; Hapke, Marko ; Thiel, Indre ; Hildebrandt, Alexander ; Waechtler, Thomas ; Schulz, Stefan E. ; Lang, Heinrich*

Half-sandwich cobalt complexes in the metal-organic chemical vapor deposition process


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Anorganische Chemie
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: ISSN: 0040-6090
URL/URN: doi:10.1016/j.tsf.2015.01.052
Quelle: In: Thin Solid Films. - 578. 2015, S. 180 - 184
Freie Schlagwörter (Englisch): Chemical vapor deposition , Cobalt , Phosphite , Vapor pressure , Thin films , Film formation

 

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