Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Georgi, Colin ; Hapke, Marko ; Thiel, Indre ; Hildebrandt, Alexander ; Waechtler, Thomas ; Schulz, Stefan E. ; Lang, Heinrich*
Half-sandwich cobalt complexes in the metal-organic chemical vapor deposition process
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Anorganische Chemie | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0040-6090 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.tsf.2015.01.052 | |
| Quelle: | In: Thin Solid Films. - 578. 2015, S. 180 - 184 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Chemical vapor deposition , Cobalt , Phosphite , Vapor pressure , Thin films , Film formation |
