Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Singh, Pradeep K. ; Knaup, Jan M. ; Zimmermann, Sven ; Schulze, Steffen ; Schulz, Stefan E. ; Frauenheim, Thomas ; Hietschold, Michael
The dielectric response of low-k interlayer dielectric material characterized by electron energy loss spectroscopy
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 1387-1811 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1016/j.micromeso.2013.12.014 | |
| Quelle: | In: Microporous and Mesoporous Materials. - 187. 2014, S. 23 - 28 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Low-k materials , Porosity , EELS , Kramers–Kronig relations , Dielectric function |
