Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meszmer, Peter ; Hiller, Karla ; Shaporin, Alexey ; Mehner, Jan ; Wunderle, Bernhard
Mikro-und nanoskalige Zug- und Ermüdungstests in einem probenzentrischen Design
Micro and Nano Scale Tensile and Fatigue Testing Using a Specimen Centered Approach
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 9783000476259 | |
| Quelle: | 12. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 21./22. Oktober, 2014, S. 142 - 149 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , Thermal actuator , Piezoresistive force sensor , Capacitive displacement sensor , Numerical simulation , Numerical optimization, Reliability , Fatigue testing , BDRIE , Sensitivity analysis |
