Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meszmer, Peter ; Hiller, Karla ; May, Daniel ; Hartmann, Steffen ; Shaporin, Alexey ; Mehner, Jan ; Wunderle, Bernhard
Design, Technology, Numerical Simulation and Optimization of Building Blocks of a Micro and Nano Scale Tensile Testing Platform with Focus on a Piezoresistive Force Sensor
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4799-4791-1 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/EuroSimE.2014.6813843 | |
| Quelle: | Thermal, mechanical and multi-physics simulation and experiments in microelectronics and microsystems (EuroSimE), 15th international conference on, P.1-10, Ghent, Belgium, April 7-9, 2014 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , Thermal actuator , Piezoresistive force sensor , Capacitive displacement sensor , Numerical simulation , Numerical optimization , Reliability , BDRIE , Sensitivity analysis , Infrared tomography , Raman spectroscopy , Digital image correlation |
