Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian ; Enderlein, Tom ; Harazim, Stefan ; Nestler, Jörg ; Schmidt, O.G. ; Otto, Thomas ; Gessner, Thomas
Integration of Rolled-up Nano Membranes with MEMS- and Lasertechnology
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2191-7183 | |
| Quelle: | In: Microsystems Technology in Germany - Mikrosystemtechnologie in Deutschland. 2014, S. 54 - 55 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , rolled-up nanotech method |
