Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Köhler, Daniel ; Seidel, Ralf ; Helke, Christian ; Hiller, Karla ; Schüller, Martin ; Lipowski, Matthias
High Voltage Amplifier ASIC for High Capacitive Load MEMS based Piezoelectric Actuators
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-86359-201-1 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration Conference 2014 (SSI), Vienna (Austria), 2014 Mar 26-27; Proceedings, pp 509-512 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | active flow control , MEMS based piezoelectric actuators |
