Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian ; Enderlein, Tom ; Harazim, S. ; Nestler, Jörg ; Schmidt, O.G. ; Otto, Thomas ; Gessner, Thomas
Dry Integration Strategies of rolled-up Nanostructures by a Combination of Laser and Mems Technologies
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-0-9798064-7-6 | |
| Quelle: | 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS), San Antonio (USA), 2014 Oct 26-30; Proceedings, pp 1713-1715, 2014 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS, rolled-up nanotech method |
