Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Harazim, S. ; Bolaños, V. ; Helke, Christian ; Enderlein, Tom ; Otto, Thomas ; Schmidt, O.G.
Multifunctional nanomembranes as sensitive optical sensors in compact MEMS devices
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| ISBN/ISSN: | 0420-0195 | |
| Quelle: | DPG-Frühjahrstagung der Sektion Kondensierte Materie (SKM), Dresden (Germany), 2014 Mar 30-Apr 04; Proceedings, 2014 |
