Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fronk, Michael ; Müller, Steve ; Waechtler, Thomas ; Schulz, Stefan E. ; Mothes, Robert ; Lang, Heinrich ; Zahn, Dietrich R. T. ; Salvan, Georgeta
Magneto-optical Kerr-effect studies on copper oxide thin films produced by atomic layer deposition on SiO2
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Anorganische Chemie | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0040-6090 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2011.10.204 | |
| Quelle: | In: Thin Solid Films. - 520. 2012, 14, S. 4741 - 4744 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Copper oxide , Atomic layer deposition (ALD) , Magneto-optical Kerr-effect (MOKE) spectroscopy , Spectroscopic ellipsometry (SE) | |
Bemerkung: |
Proceedings of the EMRS 2011 Spring Meeting Symposium D: Synthesis, Processing and Characterization of Nanoscale Multi Functional Oxide Films III |
