Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian ; Enderlein, Tom ; Morschhauser, Andreas ; Nestler, Jörg ; Harazim, S.M. ; Schmidt, O.G. ; Otto, Thomas ; Gessner, Thomas
Integration of rolled-up nanomembranes by means of MEMS- and Lasertechnology
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3555-6 | |
| Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 2013 Oct 14-16; Proceedings, pp 837-840 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | nanomembrane , MEMS , lasertechnology |
