Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Shaporin, Alexey ; Bonitz, Jens ; Voigt, Sebastian ; Hermann, Sascha ; Hartmann, Steffen ; Kaufmann, Christian ; Mehner, Jan ; Geßner, Thomas
MEMS-Testeinrichtung für die Wafer-Level-Charakterisierung von integrierten Kohlenstoffnanoröhren
MEMS-Test Stage for the Wafer-Level-Characterization of integrated Carbon Nanotubes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3555-6 | |
| Quelle: | MikroSystemTechnik KONGRESS 2013 „Von Bauelementen zu Systemen“ Proceedings 14. – 16. Oktober 2013 in Aachen. - Berlin : VDE VERLAG GMBH, 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS-Test Stage , Wafer-Level-Characterzation , CNT | |
Bemerkung: |
CD-ROM |
