Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hofmann, Lutz ; Schubert, Ina ; Gottfried, Knut ; Schulz, Stefan .E ; Gessner, Thomas
Investigations on partially filled HAR TSVs for MEMS applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4799-0438-9 ; 978-1-4799-0439-6 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/IITC.2013.6615585 | |
| Quelle: | Interconnect Technology Conference (IITC), Kyoto (Japan), 2013 Jun 13-15; Proceedings, 2013, Page(s): 1 - 3 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | HAR TSVs |
