Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fiedler, Holger ; Ecke, Ramona ; Hermann, Sascha ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Back-end-of the line compatible homogeneous coating of vertical aligned carbon nanotubes with a conductive diffusion barrier for interconnect applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-0-9867183-3-5 | |
| Quelle: | Proceedings of the 3rd International Conference on Nanotechnology: Fundamentals and Applications, Montreal, 2012 Aug 7-9, 2012 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Back-end-of line, vertical aligned carbon nanotubes |
