Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hermann, Sascha ; Fiedler, Holger ; Yu, Haibo ; Loschek, Sergei ; Bonitz, Jens ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Wafer level approaches for the integration of carbon nanotubes in electronic and sensor applications
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-1-467-31590-6 Weitere Ausgaben: 978-1-4673-1591-3 ; 978-1-4673-1589-0 | |
Quelle: | 9th International Multi-Conference on Systems, Signals & Devices (SSD) Chemnitz, Mar 20-23, 2012 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | wafer level approach , integration of carbon nanotubes in electronic and sensor applications |