Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Enderlein, Tom ; Baum, Mario ; Nestler, Jörg ; Otto, Thomas ; Besser, Jan ; Wiemer, Maik ; John, B. ; Haenel, J. ; Gessner, Thomas
Laser Micromachining and micro hot embossing for highly integrated Lab-on-Chip Systems
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3423-8 | |
Quelle: | Smart Systems Integration, Zurich, 2012 Mar 21-22, 2012, (CD-ROM) | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | laser micromachining , micro hot embossing , lab-on-chip system |