Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ahner, Nicole ; Zimmermann, Sven ; Schaller, Matthias ; Schulz, Stefan E.
Optimized Wetting Behavior of Water-Based Cleaning Solutions for Plasma Etch Residue Removal by Application of Surfactants
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1012-0394 | |
| URL/URN: | doi:10.4028/www.scientific.net/SSP.187.201 | |
| Quelle: | In: Solid State Phenomena. - 187. 2012, S. 201 - 205 |
