Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jaschinsky, Philipp ;
Erben, Jens-Wolfram ;
Choi, Kang-Hoon ;
Schulze, Knut ;
Gutsch, Manuela ;
Blaschta, Frieder ;
Freitag, Martin ;
Schulz, Stefan E. ;
Steidel, Katja ;
Hohle, Christoph ;
Gessner, Thomas ;
Kuecher, Peter
Elsevier B.V.
Variable-shaped e-beam lithography enabling process development for future copper damascene technology
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2011.02.035 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering . - 88 . 2011 , 8 , S. 1978 - 1981 |
