Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Tenholte, Dirk ;
Kurth, Steffen ;
Hiller, Karla ;
Kaufmann, Christian ;
Geßner, Thomas ;
Dötzel, Wolfram ;
Mehner, Jan
Dötzel, Müller , Hermann, Kiehnscherf
Ein MEMS Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 3: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-022168-2 | |
| Quelle: | 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik : Tagungsband. - 100. - Chemnitz : k.A., 2007, S. 44 - 50 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Vakuum , Vakuumsensor , Vakuummesstechnik , Drucksensor |
