Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Küchler, Matthias ; Hofmann, Lutz ; Hahn, Ramon ; Bertz, Andreas ; Gessner, Thomas
Fortschritte in der Anwendung des tiefen Siliziumätzens (DRIE)
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-3-00-032-052-1 | |
| Quelle: | 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 2010 Oct 20-21, S. 60 - 64 |
