Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Walter, Hans ; Dermitzaki, Emmanouella ; Wunderle, Bernhard ; Michel, Bernd
Influence of moisture on humidity sensitive material parametersof microelectonic relevant polymers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4244-8553-6 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/ESTC.2010.5643018 | |
| Quelle: | Proc. 3rd ESTC, Berlin, Germany, Sept. 13-16, 2010, 2010 |